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应用等离子体原子层沉积在Fe 复合衬底上生长GaN制成MSM及MOS结构光电器件
项目编号
:
202210008824
项目名称
:
应用等离子体原子层沉积在Fe 复合衬底上生长GaN制成MSM及MOS结构光电器件
项目类型
:
创新训练项目
所属学校
:
北京科技大学
项目期限
:
一年期
所属一级学科
:
理学
所属二级学科
:
物理学类
立项时间
:
2022-06-29
结题时间
:
2023-11-16
项目成员
:
姓名
专业班级
所在学院
项目中的分工
成员类型
司政颖
第一主持人
官泽豪
成员
李凌志
成员
钱鹏
成员
张腾远
成员
指导教师
:
姓名
职称
指导教师类型
郑新和
教授
第一指导教师
